Окончательный вакуумный тест
Цель:Для измерения самого низкого давления, которое вакуумный насос может достичь в условиях холостого хода (отключен от технологической системы) после продолжительной работы. Это основной показатель производительности насоса.
Метод:Закройте входное отверстие насоса, запустите насос и дайте ему поработать непрерывно (например, в течение 2 часов). Используйте высокоточный вакуумметр для мониторинга и записи стабильного минимального давления, которого он может достичь на выходе.
Типичные данные:Конечный вакуум значительно различается в зависимости от типа вакуумных насосов. Например, двухступенчатые пластинчато-роторные вакуумные насосы могут достигать уровня 10⁻¹ Па, тогда как идеальный диапазон предельного вакуума для винтовых вакуумных насосов обычно составляет от 1×10⁻² Па до 1×10⁻³ Па.
Тест скорости откачки
Цель:Для измерения объема газа, всасываемого на вход насоса в единицу времени при определенном давлении, отражающего эффективность работы насоса.
Метод:Подсоедините стандартную вакуумную камеру известного объема. Измерьте время, необходимое для откачки от атмосферного давления до определенного целевого давления (например, 5×10⁻² мбар), а затем рассчитайте среднюю скорость откачки.
Типичные данные:Скорость откачки обычно выражается в л/с или м³/ч. Например, если модель насоса имеет номинальную скорость откачки 50 м³/ч, в требованиях к испытаниям может быть указано, что время откачки от атмосферного давления до целевого давления не должно превышать 15 минут с отклонением скорости откачки в пределах ±5%.
Тест скорости утечки
Цель:Проверить герметичность корпуса насоса и его соединений, убедиться в отсутствии явных утечек и гарантировать стабильность предельного вакуума.
Метод:Обычно для проверки всего насоса (например, таких участков уплотнения, как конец вала, торцевые крышки и фланцы) используется высокочувствительный гелиевый масс-спектрометрический течеискатель.
Типичные данные:Для высокопроизводительных вакуумных насосов общие требования к скорости утечек чрезвычайно строгие; например, оно должно быть ниже 5×10⁻⁸ Па·м³/с.
Тест стабильности
Цель:Оценить способность вакуумного насоса поддерживать определенный уровень вакуума во время непрерывной работы или в моделируемых рабочих условиях.
Метод:Запустите насос непрерывно в течение длительного периода времени (например, 4 часов или 168 часов) при определенном давлении и следите за диапазоном колебаний уровня вакуума.
Типичные данные:Колебания уровня вакуума должны быть минимальными. Например, при непрерывной работе под давлением 5×10⁻² мбар в течение 4 часов колебания уровня вакуума не должны превышать ±1×10⁻³ мбар.